尘埃粒子计数器校准规范|苏州圣光仪器有限公司

尘埃粒子计数器校准规范

1 校准条件 
1.1 环境条件
1.1.1 环境温度:(20±5)℃;
1.1.2 环境相对湿度:<75%RH;
1.1.3 实验室:洁净度10 000级的净化室或净化区。
1.2 校准设备
1.2.1 单分散粒子:(0.1~10)μm各粒径挡的单分散粒子,其粒径分布的相对
标准偏差≤5%。
1.2.2 尘埃粒子发生测量装置:发生粒子粒径范围(0.1~10)μm,粒子浓度
(1000~100000)个/28.3升;流量稳定性控制在±5%/8h;粒子浓度测量
的重复性≤5%。
1.2.3 秒表:分度值0.01s。
1.2.4 流量计:10L/1.5级和4L/1.5级。
1.2.5 容量瓶:100mL,A级;微量进样器:10μL,4%FS。
1.2.6 超高效过滤器:可过滤0.1μm的粒子。
2 校准项目和校准方法 
2.1 外观要求 
开机,依据粒子计数器说明书进行预热,目测检查。
2.2 自净时间 
仪器预热进入正常工作状态后, 先对实验室内的空气进行粒子浓度测量1
分钟,然后将粒子计数器采样口接高效过滤器(或仪器自备自净口),
使粒子计数器处于自净状态,并开始计时。每次采样时间为1min,并且
连续进行。粒子浓度三次为零时停止计时。从仪器开始计时到停止计时
之间的时间为自净时间。
2.3 流量误差 
2.3.1 采样流量在10 000的洁净室中进行,并记录下测量时的温度、湿度和大气
压力。
2.3.2 将标准流量计接在仪器的进气口上,接管尽可能短。开机,粒子计数器进
入正常工作状态后,调整仪器流量至其设定值。测定其流量1次,0.5h后
在同样测定1次。
2.3.3 按式(1)计算采样流量误差 
(1)
式中: —粒子计数器采样流量的2次实际测量值的平均值;
Q—粒子计数器采样流量的设定值的标称值。
2.4 计时误差 
2.4.1 粒子计数器进入正常工作状态后, 将采样时间设定在6min, 同时启动秒表
和粒子计数器,待粒子计数器到达设定的采样时间时,停止计时,记录秒
表未尾显示时间t。
2.4.2 按式(2)计算计时误差Δt :
(2)
式中:t0——粒子计数器的采样定时时间,t0=360s;
t——秒表计时时间。
2.5 重复性 
2.5.1 使用尘埃粒子发生装置进行重复性试验, 被检仪器进入正常工作状态后先
自净。
2.5.2 将0.5μm左右的单分散粒子稀释液, 充分摇匀后, 注入发生装置的喷雾头
中,雾化后粒子浓度控制在(4500~5500)个/28.3升之间。雾化后,按
照仪器操作规程输入到被检粒子计数器。
2.5.3 在粒子计数器正常运转5min后开始测定粒子浓度,连续采样至少10次。
2.5.4 按式(3)计算0.5μm的粒子浓度c0.5的平均值 
(n≥10) (3)
式中: ——被检粒子计数器≥0.5μm的粒子浓度各次测量值。
2.5.5 粒子计数器的重复性s按照式(4)计算:
(n≥10) (4)
式中:CN——引用值,此处为气溶胶所在洁净度等级的较高粒子浓度值
10000个/28.3升。
2.6 粒径分布误差
2.6.1 粒子计数器进入正常工作状态后先进行自净。
2.6.2 按照2.5.2方法,将0.6μm左右单分散粒子稀释液通过尘埃粒子发生装置
输入到被检粒子计数器。
2.6.3 在粒子计数器正常运转5min后开始测定粒子浓度,连续采样3次。
2.6.4 按式(5)计算粒径分布hIi:
(5)
式中: ——被检粒子计数器的大于等于0.5μm的粒子浓度第i次测量值;
——被检粒子计数器的大于等于0.3μm的粒子浓度第i次测量值。
按式(6)计算粒径分布的平均值。
2.6.5 按式(6)计算粒径分布的平均值hI:
(n=3) (6)
2.6.6 粒子计数器在进行自净。
2.6.7 按照2.5.2方法,将0.4μm左右单分散标准粒子通过尘埃粒子发生装置输
入到被检尘埃粒子计数器
2.6.8 在粒子计数器正常运转5min后开始测定粒子浓度,连续采样3次,每次采
样1分钟。
2.6.9 按式(7)计算粒径分布h2j:
(7)
式中:c0.5j——被检粒子计数器的大于等于0.5μm的粒子浓度第j次测量
值;
C0.3j——被检粒子计数器的大于等于0.3μm的粒子浓度第j次测量
值。
2.6.10 按式(8)计算粒径分布的平均值 :
(n=3) (8)
2.6.11 按式(9)计算粒径分布误差Δh :
(9)
使用0.6μm粒子测量时h理论值=100%,使用0.4μm粒子测量时h理论值=0%。
2.6.12 同样的方法,测量并计算5.0挡粒径分布误差。
2.7 粒子浓度示值误差
2.7.1 粒子计数器经过预热时间后,先进行自净。
2.7.2 将0.5μm单分散粒子稀释液通过尘埃粒子发生装置产生稳定的气溶胶, 输
入到相同流量的精密粒子计数器和被检粒子计数器中, 雾化粒子浓度控制
在(4500~5500)个/28.3升之间。
2.7.3 在粒子计数器正常运转5min后开始测定粒子浓度,粒子计数器连续测10
次。
2.7.4 按式(10)计算精密计数器10次测量的平均值 
(n=10) (10)
2.7.5 按式(11)计算被检粒子计数器10次测量值的平均值 :
(n=10) (11)
式中:C0.5k——被检粒子计数器的大于等于0.5μm的粒子浓度第k次测量值。

2.7.6 按式(12)计算粒子浓度示值误差 :
(12)
中:CN——引用值,此处为气溶胶所在洁净度等级的较高粒子浓度值
10000个/28.3升。
2.7.7 同样地,单分散粒子稀释液粒子浓度控制在(45000~55000)个/28.3升
之间,用上述方法,检测并计算出粒子浓度示值误差 :
(13)
式中: CN——引用值, 为气溶胶所在洁净度等级的较高粒子浓度值100 000
个/28.3升。
3 接受标准 
3.1 外观要求 
无影响校准结果的缺陷:各零部件应齐全并且连接可靠,不应有影响使
用的损伤和变形;各旋钮和开关无损伤和卡死现象。
3.2 自净时间不大于10min。
3.3 流量误差:采样流量设定值的误差不超过±5%。
3.4 计时误差:采样时间6min的计时误差不超过±1s。
3.5 重复性: 在相同测量条件下, 粒子浓度连续测量值的重复性不大于10%FS。
3.6 粒子分布误差:0.5μm、5μm粒径挡分布误差不超过±30%。
3.7 粒子浓度示值误差: 粒子计数器处于正常工作条件状态后, 0.5μm粒径挡的粒子浓度示值误差不超过±30%FS。
4 校准结果的处理和校准周期 
4.1 校准结果应该在校准证书上反映。校准证书至少包括以下信息:
实验室名称和地址;进行校准的地点;校准证书的唯一性标识;校准依
据;校准所使用的测量标准溯源性及有效性说明;校准结果及测量不确
定度的说明等。
4.2 计量员应依据本规范的接受标准来判定校准证书结果是否合格, 在接受范
围内的粘贴“合格证”标识;否则粘贴“停用证”标识。
4.3 尘埃粒子计数器校准周期为一年。
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